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石英玻璃管如何清洗?

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石英玻璃管如何清洗?

发布日期:2018-08-22 作者:昊天 点击:

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1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺尺度进行。

2.清洗职员需要佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门,将酸槽清洗时间设定为30min,按下控制面板中"酸槽启动"按钮。


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3.将水槽内的水排空后用水枪冲刷石英管内外壁约5分钟。冲刷时应仔细当真,不要有残留未冲到的区域。然后把水枪拉到石英管管口,从管口向管尾方向冲刷管内壁。清洗职员戴好防护眼镜和手套,将石英管从酸槽掏出,轻放入水槽。冲刷石英管内壁时不要按下"水槽启动"按钮,假如已经按下了应再按下"水槽结束"按钮。2分钟后,将石英管旋转180°,再用同样方式冲刷2分钟。

4.将纯水注入水槽,水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门,然后将水槽清洗时间设定为30min,按下"水槽启动"按钮。

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6.冲刷内壁。然后,参照上面的方法用水枪冲刷石英管内/外壁。此步清洗时间应不少于15min,以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。约5min后用水枪冲刷管尾的四个小通气管,同样是管内壁。冲刷2分钟后再继承从管口方向冲刷。水槽结束后,将水槽内的水排空。

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