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什么是石英坩埚制品?

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什么是石英坩埚制品?

发布日期:2017-09-13 作者: 点击:

  1、石英坩埚可在1450度以下运用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,开展大规划集成电路必不行少的根底资料。当 今,国际半导体工业兴旺国家已用此坩埚代替了小的通明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节省动力、质量安稳等利益。

  2、不能和HF触摸,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。

  3、石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

  4、石英质脆,易破,运用时要留意。

    一般稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家运用22及以上的坩埚。现在国内坩埚出产大厂家出产的坩埚技 术都比较老练。其出产运用质料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂运用国产料其质料出产的石英坩埚对拉制单晶硅时其安稳性都有必定影响。

    现在坩埚出产涂层技能已被大多数厂家运用就是在一般石英砂溶制的坩埚外表涂上一层二氧化钡溶液使其构成细密层,其细密层能阻挠单晶硅高温拉制进程中硅与石英坩埚反响进步成晶率。

  2、石英坩埚工艺流程

     尤尼明高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→天然冷却脱模→石英坩埚开端检测→冷加工喷砂、堵截、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、主动烘干。加温烘烤,喷涂→石英坩埚三次查验→真空包装→成品入库

  3、石英坩埚出产技能

     现在,国内石英坩埚出产企业出产中运用的出产设备及工艺技能悉数源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的出产设备及工艺技能,该项技能设备主动化程度不高,整个出产进程中更多的依托人工来完成,现在国内新上的坩埚出产设备都现已往主动化开展。


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